3,35 дюйм! Crysdiam гомоэпитаксиалды біркристалды алмаз тағы да жаңа жетістікке жетті

Соңғы кезде Crysdiam компаниясының алмас өндірісінің аймағында CVD әдісімен алынған үлкен біркристалды алмастар белгіленген мерзімінде шығарылды. Олардың ішінде 60 мм × 60 мм өлшемдегі біркристалды алмас назарды тартты.

Crysdiam компаниясының өндірген гомоэпитаксиалды біркристалды алмас пластинкалары

Сол жақта: өнімнің өлшемі — 60 мм × 60 мм; Оң жақта: ұзын жағының өлшемі — 72,29 мм

Бұл алмас пластинкалары гомоэпитаксиалды өсу технологиясын қолданады, бұл Crysdiam компаниясы үшін алғашқы әрекет емес!

Қытайдың Нинбо қаласында орналасқан Crysdiam компаниясы 2014 жылы бірінші CVD біркристалды алмасын шығарғаннан бері 10-нан астам технологиялық жаңартулардан өтті. 2023 жылдың соңына дейін 3 дюймдік CVD біркристалды алмас массалық түрде сәтті өндіріле бастады. Қазір өнім тағы да жаңартылды, оның өлшемі 3,35 дюймнен асады, ал Crysdiam 4 дюйм немесе одан да үлкен біркристалды алмас өндірудің мақсатына жету үшін қосымша күш салуда.

Crysdiam өнімдерінің даму уақыт сызығы

Микротолқынды плазмалық химиялық бу фазасындағы шөгу (MPCVD) өнеркәсіпте үлкен өлшемді және жоғары сапалы біркристалды алмаздар алу үшін ең жақсы әдіс ретінде кеңінен танылған. Қазір екі негізгі технологиялық бағыт бар: гомоэпитаксия және гетероэпитаксия. Гетероэпитаксиалық өсумен салыстырғанда, гомоэпитаксиалық технологияның артықшылығы – оның жоғары кристалл сапасында, ішкі кернеу мен дислокация тығыздығының төмендігінде және үлкен өлшемді алмаз отырғызу материалдарын өсіру мүмкіндігінде. Сондықтан бұл аумақтың ұлғаюының тиімділігін арттырады. Дегенмен, бұл технология өте күрделі де.

Crysdiam әрқашан гомоэпитаксиалық өсу бағытын ұстанды. 60 мм × 60 мм өлшемін жартылай өткізгіштік өнеркәсібінде жиі қолданылатын пластиналар бірлігіне аударғанда шамамен 3,35 дюйм құрайды. Бұл Crysdiam компаниясының қоғамға бұрынша хабарлаған тұңғыш жағдайы.

Жаңа сапалы өндірістік күштердің қалыптасуын жеделдету — бұл 0-ден 1-ге дейінгі таранушы инновацияны және 1-ден 100-ге дейінгі тұрақтылықтың жақсартылуын жеделдету дегенді білдіреді. Төраға Цзюньань Чжан былай деп айтты: «Қазір біздің өндірістік жабдықтарымыз бірнеше рет модернизацияланып, жаңартылды, реакторлар саны 1500-ге дейін кеңейтілді. Бұл біздің жылдық өндіріс қуатымыз үлкен өлшемді, жоғары сапалы CVD біркристалды алмаздың 2 миллион каратына жеткендігін білдіреді, бұл көрсеткіш әлем бойынша ең жоғарғы деңгейлердің бірінде орналасқан».

Қазір Crysdiam алмаз материалдары, оған байланысты жабдықтар мен қолданыстар бойынша толық өнеркәсіптік орналасу және стандартталған өндіріс қуатын қалыптастырды. Crysdiam өндіретін CVD біркристалды алмаздың қоспалар мөлшері 10 ppb-дан аз, бетінің тегістігі 1 нм-нан аз, сонымен қатар азот пен бор элементтерін бақыланатын тәсілмен легирлеуге болады, бұл алмаз материалдарының функционалды қолданысы үшін тұрақты негіз қалануын қамтамасыз етеді.

Жаңалықтар тізбегіндегі жақсы технологиялардан өнеркәсіптік тізбектегі жаңа қолданыстарға дейін ұзын және қиын жол бар. «Ұзын материал» — бұл тек қана басталуы.

Crysdiam компаниясының өндірістік қуаты қол жетімді болды, ал келесі қадам — өнеркәсіптік тізбектің жоғарғы және төменгі ағысымен инновациялық байланысты жеделдету.

Төраға Цзюньань Чжан түсіндірді: Crysdiam компаниясы алмаз өндірісіне қатысты кәсіпорындар мен ғылыми-зерттеу институттарымен бірлесіп әзірлеуге көшуде.

Crysidam Алмаз Өнеркәсіптік Паркі және Өнеркәсіптік Сызық бойынша Әртүрлі Жабдықтар

Crysdiam компаниясының істеуі керек нәрсе — өнеркәсіптің қажеттіліктеріне назар аударып, алмаз өнімдері, өсу реакторы, лазерлік жабдықтар, өңдеу жабдықтары, бақылау және сынау жабдықтары бойынша өзіндік инновацияларды аяқтағаннан кейін үнемі жаңартып отыру және қайта құру. Нәтижесінде ол алмаз өнеркәсібінің дамуының алдыңғы қатарында тұрады, яғни төменге қарай созылу арқылы және қолданыс аясын кеңейту арқылы.

Қазір Crysdiam компаниясының жоғары деңгейлі ҒЗЖ орталығы жобалау сызбасынан нақтылыққа айналды. Ол 82 000 шаршы метр аумақты алып жатыр, бастапқы инвестициясы 1 млрд юань құрайды. 80 000 шаршы метрден астам құрылыс аумағы бар заманауи алмаз өнеркәсіптік парк іске қосылды. Бұл Crysdiam компаниясының ғылыми жетістіктерді тауарландыруға қол жеткізуіне деген сенімді арттырды.

«CVD әдісімен жеке кристалды алмазды өнеркәсіптік түрде өндіруге маманданған елдегі бірінші кәсіпорын»; «Өзіндік интеллектуалдық меншік құқығы бар бірінші MPCVD жеке кристалды алмаз өсу реакторы»; «Өзіндік интеллектуалдық меншік құқығы бар бірінші CVD үлкен жеке кристалды алмазды өнеркәсіптік өндіріс жолағы»... Барлық бұл жетістіктер Crysdiam компаниясының бірінші танысу белгілеріне айналды. Келешекте бұл инновациялық бағыт әрі қарай жалғасады.