| 특성 | |
| 비커스 경도 | 10000 kg/mm² |
| 영률 | 1050 GPa |
| 열팽창계수 | 1.0±0.1 ppm/K |
| 포아송 비율 | 0.1 |
| 밀도 | 3.515 g/cm³ |
| 인장 강도 (두께 500μm) | 750 MPa |
| 공정 표준 | |
| 결정학적 방향 | 100 110 111 |
| 주 면 방향의 Miscut | ±3° |
| 제품 크기 | 42mm×42mm 내외 |
| 횡방향 허용오차 | ±0.05mm |
| 두께 허용 오차 | ±0.1mm |
| 표면 거칠기 | ＜10nm |
| 변부 절단 | 레이저 절단 |
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