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Réacteur MPCVD

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Réacteur MPCVD

Développée par Crysdiam et mise à jour

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Description du produit

Le réacteur MPCVD a été développé par Crysdiam avec des droits de propriété intellectuelle complets et est améliorable.

CARACTÉRISTIQUES

Alimentation AC380±10% V triphasé cinq fils 50Hz
Puissance de Sortie Micro-ondes 0-6kW ajustable continuellement
Stabilité de puissance Meilleur que 1%
Fréquence micro-ondes 2450MHz±50MHz
Taux de fuite du vide Meilleur que 1×10 −9 Pa· m³/s
Zone de dépôt effective ≥φ60mm
Alimentation en Air ≥ 4 voies (personnalisable)
Valeurs de fuite micro-ondes <5mW/cm²
Environnement de travail Température 15-40℃, humidité relative ≤70%, pas de gaz corrosif
Efficacité de conversion du micro-ondes ≥60%

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Proposés sous forme de pierres certifiées/non certifiées, de paires assorties et de lots calibrés.

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