| Eigenschaften | |
| Vickers-Härte | 10000 kg/mm² |
| Youngscher Modul | 1050 GPa |
| Koeffizient der thermischen Ausdehnung | 1.0±0.1 ppm/K |
| Poisson-Zahl | 0.1 |
| Dichte | 3.515 g/cm³ |
| Zugfestigkeit (Dicke 500μm) | 750 MPa |
| Prozessstandard | |
| Kristallographische Ausrichtung | 100 110 111 |
| Miscut für Hauptflächenorientierung | ±3° |
| Produktgröße | Innerhalb von 42mm×42mm |
| Quertoleranz | ±0.05mm |
| Dickentoleranz | ±0,1 mm |
| Oberflächenrauheit | ＜10nm |
| Kantenschneiden | Laserschneiden |
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